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"Lineare und nichtlineare Interferometrie zur Präzisionsvermessung von Mikrostrukturen" S. DraxlerDiplomarbeit am Max-Planck Institut für Kernphysik Heidelberg, Ruprecht-Karls-Universität Heidelberg Abstract: Diese Diplomarbeit beschäftigt sich mit interferometrischen Messmethoden, mit denen es möglich ist die Mikrostruktur von Objekten zu bestimmen. Zuerst wurde ein interferometrischer Messplatz zur Untersuchung der Dispersionseigenschaften von Laserspiegeln realisiert. Die Dispersion hängt von der Schichtstruktur der Spiegel ab. Aus dem spektral aufgenommenen Interferogramm wurde auf die Phase und daraus auf die Dispersion in Abhängigkeit der Wellenlänge geschlossen. Im zweiten Teil der Arbeit wurde ein Aufbau zur linearen Optischen Kohärenz-Tomographie (OCT) realisiert. Als Lichtquelle hierfür dient ein 5-fs-Laser mit sehr großer Bandbreite. OCT ist ein Verfahren zur direkten Bildgebung von mikrometergroßen Strukturen. In einem interferometrischen Aufbau werden dabei Brechungsindex-Sprünge in der Probe detektiert, wobei die Tiefenauflösung durch die Kohärenzlänge der verwendeten Lichtquelle bestimmt ist. Die lineare OCT ist allerdings nicht auf das reflektierende Material sensitiv. Eine Möglichkeit dieses Verfahren zu erweitern, ist die nichtlineare Optische Kohärenz-Tomographie, bei der das in der Probe frequenzverdoppelte Licht zur Interferenz gebracht wird. Deshalb wurde der OCT-Aufbau so erweitert, dass damit auch die hochauflösende nichtlineare OCT mit einer Auflösung von 6,5 µm demonstriert werden konnte. This publication has not been written at BMO BMO authors (in alphabetic order): Simone Draxler |
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Letzte Änderung: 2016-09-14 13:34
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